振動ピックアップの校正装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯沼義彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-087670
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222354
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】マイケルソン式干渉計を用いた振動ピックアップの校正装置における校正精度の向上をはかる。【解決手段】マイケルソン式干渉計の干渉縞検出部に、干渉縞の波形を90°位相差信号として取出すべく2個のホトダイオード15a〜15dを配し、各ホトダイオードの各出力波を混合した混合波に基づき干渉縞をカウントすることにより、誤差率を従来のものに比べて1/4に低減することができる。

請求項（抜粋）：

干渉縞計数法により検出された干渉縞の数と加振機の加振振動数との比Rfに基づいて算出された上記加振機の加振加速度Aと、振動ピックアップの出力Vとから同振動ピックアップの感度S=V/Aを校正する振動ピックアップの校正装置において、上記光干渉計の干渉縞の検出部に、同干渉縞の波形を90°位相差信号として取り出すべく2個の光電変換素子が設けられ、同各光電変換素子の各出力波形を混合した混合波に基づき上記干渉縞の数をカウントする計数手段が設けられていることを特徴とする、振動ピックアップの校正装置。

IPC (3件)：

G01H 9/00 , G01H 17/00 , G01P 21/00

FI (3件)：

G01H 9/00 C , G01H 17/00 D , G01P 21/00

引用特許：

出願人引用 (3件)

干渉測長システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-163067 出願人：株式会社ニコン
特開昭49-019872
特開昭50-040184

審査官引用 (3件)

干渉測長システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-163067 出願人：株式会社ニコン
特開昭49-019872
特開昭50-040184

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