特許

J-GLOBAL ID：200903042128686568

基板洗浄装置

発明者： 森田 彰彦 ,  大谷 正美
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-040731
公開番号（公開出願番号）：特開平10-242092
出願日： 1997年02月25日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】 洗浄具を交換すべき時期を容易に検知することができる基板洗浄装置を提供する。【解決手段】 ブラシアーム20が降下して、洗浄ブラシ10が基板Wに接触すると、ブラシ保持部材30がブラシアーム20に対して相対的に上昇し、垂下部30cの下端がロードセル50から離れる。そして、発光部40aからの光がその隙間を通過し、受光部40bによって受光されることにより、フォトセンサ40は、洗浄ブラシ10が基板Wに接触したことを検知する。フォトセンサ40が検知した接触回数または接触時間は、それぞれカウンター60または計時部61によって積算され、その積算された接触回数または累積接触時間が予め定められた閾値と比較部71によって比較される。接触回数または累積接触時間が予め定められた閾値以上の場合、表示部75がブラシ交換時期である旨の表示をする。

請求項（抜粋）：

洗浄具を基板に接触させつつ洗浄を行う基板洗浄装置において、(a) 前記基板と前記洗浄具とが接触しているか否かを検知する検知手段と、(b) 前記検知手段により検知された前記基板と前記洗浄具との接触回数または接触時間を積算する積算手段と、(c) 前記積算手段により積算された積算値に応じた表示を行う表示手段と、を備えることを特徴とする基板洗浄装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 1/04

FI (3件)：

H01L 21/304 341 B ,  H01L 21/304 341 S ,  B08B 1/04

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ガラス板用スクラブ洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-136332   出願人：シャープ株式会社