特許
J-GLOBAL ID：200903042155403926

音叉型圧電振動片及びその集合体並びに音叉型圧電振動片の製造方法

発明者：
山田 祥之

山田 祥之 について


出願人/特許権者：
エプソントヨコム株式会社

エプソントヨコム株式会社 について


代理人 (4件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  伊奈 達也 ,  永田 美佐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-011703
公開番号（公開出願番号）：特開2008-178021
出願日： 2007年01月22日
公開日（公表日）： 2008年07月31日
要約：
【課題】本発明の目的は、音叉型圧電振動片20の折り取りを適正に行い、かつ、折り取り前に音叉型圧電振動片20の特性測定を行うことができる構造を提供することにある。【解決手段】枠体16に基部22が連結され、基部22から一対の振動腕24が延びる。音叉型圧電振動片20上には電極40が形成され、電極40に電気的に接続するように配線54が形成されている。枠体16と基部22との連結部28には、第1及び第2の面12,14に括れた形状が表れるように対向方向に一対の切り込み34が形成されている。連結部28は、第1の面12において平坦である。第2の面14には、一対の切り込み間34で一対の切り込み34に連続する溝36が形成されている。配線54は、第1の面12で、連結部28上に形成された部分と、枠体16上に形成された部分と、が連続するように形成されてなる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
相互に反対を向く第1及び第2の面の間隔を厚みとし、枠体と、前記枠体に連結された基部及び前記基部から延びる一対の振動腕をそれぞれが有する複数の音叉型圧電振動片と、が一体的に形成されてなる圧電体と、 それぞれの前記音叉型圧電振動片上に形成された電極と、 前記電極に電気的に接続するように前記圧電体上に形成された配線と、 を有し、 前記枠体と前記基部との連結部には、前記第1及び第2の面に括れた形状が表れるように対向方向に一対の切り込みが形成され、 前記連結部は、前記第1の面において平坦であり、 前記第2の面には、前記一対の切り込み間で前記一対の切り込みに連続する溝が形成され、 前記配線は、前記第1の面で、前記連結部上に形成された部分と、前記枠体上に形成された部分と、が連続するように形成されてなる音叉型圧電振動片集合体。
IPC (6件)：
H03H 9/19 ,  H03H 9/215 ,  H03H 3/02 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09
FI (8件)：
H03H9/19 J ,  H03H9/215 ,  H03H3/02 D ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 K
Fターム (13件)：
5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108EE07 ,  5J108FF07 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK03 ,  5J108MM04 ,  5J108MM08 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM