音叉型振動子の周波数調整装置及び周波数調整方法並びにその方法によって周波数調整された音叉型振動子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-356916
公開番号（公開出願番号）：特開2002-164759
出願日： 2000年11月24日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】振動片表面に形成された金属膜の一部をレーザ照射によって除去しながら発振周波数を調整していく調整手法に対し、その周波数調整作業時間の短縮化を図り、振動子の生産効率を向上させる。【解決手段】音叉型振動子の発振周波数と予め設定された目標周波数との差を算出手段68aによって算出する。音叉型振動子の発振周波数を上記目標周波数との差だけ変化させるための金属膜の除去量が得られるようにレーザ照射機65をレーザ制御手段68bによって制御しながら除去ドットを形成する。レーザ照射後の音叉型振動子の発振周波数を測定手段68cによって測定する。

請求項（抜粋）：

音叉型振動子の振動片に形成された周波数調整用金属膜の一部を、レーザ照射機からのレーザ照射によって除去することにより、音叉型振動子の発振周波数を調整する周波数調整装置において、上記音叉型振動子の発振周波数と予め設定された目標周波数との差を算出する算出手段と、この算出手段の出力を受け、上記音叉型振動子の発振周波数を上記目標周波数との差だけ変化させるための金属膜の除去量が得られるようにレーザ照射機を制御するレーザ制御手段と、このレーザ制御手段によるレーザ照射機の制御によって金属膜が上記除去量だけ除去された後に、音叉型振動子の発振周波数を測定する測定手段とを備えていることを特徴とする音叉型振動子の周波数調整装置。

IPC (2件)：

H03H 3/04 , H03H 9/19

FI (2件)：

H03H 3/04 B , H03H 9/19 J

Fターム (16件)：

5J108AA02 , 5J108BB02 , 5J108CC06 , 5J108CC09 , 5J108EE07 , 5J108EE14 , 5J108FF02 , 5J108FF07 , 5J108FF10 , 5J108GG03 , 5J108GG16 , 5J108GG20 , 5J108HH04 , 5J108KK06 , 5J108NA03 , 5J108NB05

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開平2-233009
特開平2-220508
圧電振動部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-167791 出願人：ティーディーケイ株式会社

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審査官引用 (8件)

特開平2-233009
特開平2-220508
圧電振動部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-167791 出願人：ティーディーケイ株式会社

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