短波長縦型空洞表面放射レーザおよび製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-139555
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316573
出願日： 1996年05月09日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【課題】短い波長の光を放射しかつ量産性に富む縦型空洞表面放射レーザを実現する。【解決手段】短い波長の縦型空洞表面放射レーザ101が提供される。面103を有しガリウムひ素リン化物を含む基板102が形成される。基板102の第1の面103の上に第1のスタックのミラー106が形成される。第1のスタックのミラー106の上に第1のクラッディング領域107が形成される。第1のクラッディング領域107の上にアクティブ領域108が形成される。アクティブ領域108の上に第2のクラッディング領域109が形成される。第2のクラッディング領域109の上に第2のスタックのミラー110が形成される。第2のスタックのミラー110の上にコンタクト領域126が形成される。

請求項（抜粋）：

短波長縦型空洞表面放射レーザ(101)であって、1つの面(103)を有するガリウムひ素リン化物基板(102)、前記ガリウムひ素リン化物基板(102)の前記面(103)上に配置された第1のスタックのミラー(106)、前記第1のスタックのミラー(106)の上に配置された第1のクラッディング領域(107)、前記第1のクラッディング領域(107)の上に配置されたアクティブ領域(108)、前記アクティブ領域(108)の上に配置された第2のクラッディング領域(109)、前記第2のクラッディング領域(109)の上に配置された第2のスタックのミラー(110)、そして前記第2のスタックのミラー(110)の上に配置されたコンタクト領域(126)、を具備することを特徴とする短波長縦型空洞表面放射レーザ(101)。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-278523
特開昭61-134091
特開昭61-096726

全件表示

前のページに戻る