特許
J-GLOBAL ID:200903042188801196
荷電粒子放出装置およびイオンエンジン
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
亀井 岳行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-012224
公開番号(公開出願番号):特開2009-085206
出願日: 2008年01月23日
公開日(公表日): 2009年04月23日
要約:
【課題】高性能で、安定してプラズマを発生させ且つ長寿命の荷電粒子放出装置を提供すること。【解決手段】内部に形成されたプラズマ生成空間(22a)を有するチェンバー(22)と、通電時に前記プラズマ生成空間(22a)にプラズマ生成用の誘導磁界を発生させる誘導磁界発生コイル(26)と、前記チェンバー(22)内部にプラズマ発生用のガスを供給するガス供給源(21)と、前記チェンバー(22)内部に対向して配置された一対の放電端部(24a,24b)を有し、前記プラズマ生成空間(22a)内に配置されて、前記誘導磁界による電磁誘導で誘導電流が流れて、前記放電端部(24a,24b)間で放電を発生させることでプラズマ生成用の電子を供給する放電電極(24)と、を備えた荷電粒子放出装置(4b)。【選択図】図3
請求項(抜粋):
内部に形成されたプラズマ生成空間と、プラズマ生成空間で発生した荷電粒子を外部に放出する放出口と、を有するチェンバーと、
前記チェンバーの外周に配置され、通電時に、前記プラズマ生成空間にプラズマ生成用の誘導磁界を発生させる誘導磁界発生コイルと、
前記誘導磁界発生コイルに高周波電流を供給する高周波電源装置と、
前記チェンバー内部に、プラズマ発生用のガスを供給するガス供給源と、
前記チェンバー内部に対向して配置された一対の放電端部を有し、前記プラズマ生成空間内に配置されて、前記誘導磁界による電磁誘導で誘導電流が流れて、前記放電端部間で放電を発生させることでプラズマ生成用の電子を供給する放電電極と、
を備えたことを特徴とする荷電粒子放出装置。
IPC (3件):
F03H 1/00
, H05H 1/46
, H05H 1/54
FI (3件):
F03H1/00 A
, H05H1/46 L
, H05H1/54
引用特許:
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