高周波電子源特にニュートラライザー

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邊隆 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-103276
公開番号（公開出願番号）：特開2003-301768
出願日： 2003年04月07日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：

【要約】【課題】電子放出源を含まず、そのため、加熱段階を必要とせず、酸素及び水分に対する保護が必要となるいかなる複雑で高価な構造コンポーネントを要しない高周波電子源を提供することである。【解決手段】イオン化される気体用の少なくとも一の気体入口(14)と電子用の少なくとも一の引き出し開口(16)とを有する放電チャンバ(11)を備えた高周波電子源(10)、特にイオン源ニュートラライザーの形式のもの、特にイオンスラスタ用のものにおいて、放電チャンバ(11)は少なくとも一の電極(12a)と一のキーパー電極(12b)とによって少なくとも部分的に囲繞され;電極間に高周波電界が付与されることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

イオン化される気体用の少なくとも一の気体入口(14)と電子用の少なくとも一の引き出し開口(16)とを有する放電チャンバ(11)を備えた高周波電子源(10)、特にイオン源ニュートラライザーの形のもので特にイオンスラスタ用のものにおいて、放電チャンバ(11)は少なくとも一の電極(12a)と一のキーパー電極(12b)とによって少なくとも部分的に囲繞され;電極間に高周波電界が付与される高周波電子源。

引用特許：

審査官引用 (5件)

ホローカソード
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-339598 出願人：三菱電機株式会社
ホローカソードおよびその応用装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-299847 出願人：三菱電機株式会社
特開昭62-185324

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