光学部材用合成石英ガラスおよびその製法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-399665
公開番号（公開出願番号）：特開2003-201124
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月15日
要約：

【要約】【課題】耐光性および光透過性に優れた高濃度にフッ素を含有する合成石英ガラスを安定して作製する方法を提供する。【解決手段】多孔質石英ガラスを水蒸気含有雰囲気下に保持することにより、該多孔質石英ガラス中のOH基含有量を制御する工程と、該多孔質石英ガラスをフッ素化合物含有雰囲気下に保持し、該多孔質石英ガラスにフッ素をドープすると同時にOH含有量を低減する工程と、該多孔質石英ガラスを1300°C以上の温度に昇温して透明ガラス化し、透明石英ガラス体を得る工程と、を含む。

請求項（抜粋）：

波長155〜250nmの光を光源とする光学装置の光学部材として用いられる光学部材用合成石英ガラスの製法において、(a)ガラス形成原料を火炎加水分解して得られる石英ガラス微粒子を基材に堆積・成長させて多孔質石英ガラスを形成する工程と、(b)該多孔質石英ガラスを水蒸気含有雰囲気下に保持することにより、該多孔質石英ガラス中のOH基含有量を制御する工程と、(c)該多孔質石英ガラスをフッ素化合物含有雰囲気下に保持し、該多孔質石英ガラスにフッ素をドープすると同時にOH含有量を低減する工程と、(d)該多孔質石英ガラスを1300°C以上の温度に昇温して透明ガラス化し、フッ素を含有した透明石英ガラス体を得る工程と、を含むことを特徴とする光学部材用合成石英ガラスの製法。

IPC (4件)：

C03B 8/04 , C03B 20/00 , G02B 1/00 , H01L 21/027

FI (5件)：

C03B 8/04 P , C03B 8/04 M , C03B 20/00 F , G02B 1/00 , H01L 21/30 515 D

Fターム (10件)：

4G014AH00 , 4G014AH11 , 5F046BA03 , 5F046CA03 , 5F046CA04 , 5F046CB02 , 5F046CB10 , 5F046CB12 , 5F046CB17 , 5F046CB19

引用特許：

審査官引用 (1件)

真空紫外線光学部材用合成石英ガラスおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-362226 出願人：旭硝子株式会社

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