真空紫外線光学部材用合成石英ガラスおよびその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362226
公開番号（公開出願番号）：特開2001-180944
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】波長157nmにおける光透過性に優れ、かつ、その光透過性の均一性に極めて優れる合成石英ガラスの提供。【解決手段】主波長157nmのフッ素レーザを光源とする光学装置の光学部材に用いられる合成石英ガラスであって、2600nm乃至3000nmの波長域において、OH基に由来する所定の吸収ピークを有し、光使用領域におけるOH基含有量が10ppm未満であり、光使用領域におけるOH基含有量(ppm)の最大値と最小値との差が、所定の式で与えられるΔOHの値以下であり、還元型欠陥を実質的に含有しない合成石英ガラス。

請求項（抜粋）：

主波長157nmのフッ素レーザを光源とする光学装置の光学部材に用いられる合成石英ガラスであって、2600nm乃至3000nmの波長域において、OH基に由来する2720±7nmの吸収ピークを有し、光使用領域におけるOH基含有量が10ppm未満であり、光使用領域におけるOH基含有量(ppm)の最大値と最小値との差が、光使用領域におけるOH基含有量の平均値をCOH(ppm)として、下記式(1)で与えられるΔOHの値以下であり、還元型欠陥を実質的に含有しないことを特徴とする合成石英ガラス。ΔOH=0.43COH0.42 (1)

IPC (6件)：

C03B 8/04 , C03B 20/00 , C03C 3/06 , G02B 1/02 , H01L 21/027 , H01S 3/225

FI (6件)：

C03B 8/04 R , C03B 20/00 F , C03C 3/06 , G02B 1/02 , H01L 21/30 515 D , H01S 3/223 E

Fターム (65件)：

4G014AH11 , 4G062AA04 , 4G062BB02 , 4G062CC07 , 4G062DA08 , 4G062DB01 , 4G062DC01 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA10 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062ED01 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EG01 , 4G062FA01 , 4G062FA10 , 4G062FB01 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE02 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM02 , 4G062NN01 , 5F046AA28 , 5F046CA08 , 5F046CB10 , 5F046CB12 , 5F046CB17 , 5F071AA04 , 5F071FF09 , 5F071JJ10

引用特許：

審査官引用 (2件)

真空紫外用石英ガラスの製造方法および石英ガラス光学部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-170984 出願人：株式会社ニコン
高出力真空紫外線用合成シリカガラス光学材料およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-145938 出願人：信越石英株式会社

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