特許
J-GLOBAL ID：200903042255374974
液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-322226
公開番号（公開出願番号）：特開2007-125849
出願日： 2005年11月07日
公開日（公表日）： 2007年05月24日
要約：
【課題】ノズルプレート表面に膜厚が均一で密着性、耐擦透性、及びノズル加工性に優れた撥水層を形成する。【解決手段】液滴を吐出するためのノズルを形成する前の第1のプレート34表面に、スパッタ法でSiO2膜48Aを形成し、このSiO2膜48Aの上にフッ素系撥水膜48Bを蒸着法で形成した後、加熱により重合処理して撥水層48を形成する。その後、第2のプレート36の段差部52にレーザ加工によりノズル33を形成する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
記録媒体に液滴を吐出する複数のノズルが形成されたノズルプレートを有する液滴吐出ヘッドであって、
前記ノズルプレートの表面に、SiO2膜とフッ素系撥水膜からなる撥水層が形成され、
前記SiO2膜の膜厚をtとしたとき、
30nm<t≦100nm
に設定されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/055
, B41J 2/045
, B41J 2/135
B41J3/04 103A
, B41J3/04 103N
2C057AF65
, 2C057AG04
, 2C057AG14
, 2C057AP02
, 2C057AP13
, 2C057AP54
, 2C057AP60
