特許
J-GLOBAL ID：200903042278743950
マスク保護装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 晃一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-147974
公開番号（公開出願番号）：特開平8-106156
出願日： 1995年06月15日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目 的】 枠に通気孔を形成することによってマスク上に取付けた状態で通気性を持たせ、温度や圧力の変化によって薄膜が膨らんだり、凹んだりすることのないようにしたマスク保護装置において、温度や圧力の変化への応答性を向上させる。【構 成】 通気孔1を覆うフィルター2を枠の外側に通気孔1を囲う環状の両面テープによって接着し、枠より離して設ける。フィルターのガスが流れる有効部分の面積をA、通気孔の面積をaとすると、通気孔1でのガスの移動係数kはフィルター2を枠に直接取付けた場合と比べ、A/aとなる。
請求項（抜粋）：
マスクパターンを囲う大きさの枠と、枠の一側面に張設される薄膜と、枠の他側端面をマスク上に取着する接着手段とを有するマスク保護装置において、マスクパターンとマスク保護装置で囲まれる空間と、それ以外の空間に存する気体を流通させるために枠に形成される少なくとも一つの通気孔と、該通気孔より大きな断面積を有して、枠に一定の間隔を存して取着され、通気孔を覆うフィルター手段とからなることを特徴とするマスク保護装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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