特許
J-GLOBAL ID:200903042321644252
ダイコーティング装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
乗松 恭三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-197762
公開番号(公開出願番号):特開2009-028685
出願日: 2007年07月30日
公開日(公表日): 2009年02月12日
要約:
【課題】一つのダイヘッドにて幅広い塗布液物性・塗布条件においても、精密な膜厚精度を確保しうるダイコーティング装置を提供する。【解決手段】ダイヘッド11に形成しているマニホールド17の一端にマニホールド入口を、他端にマニホールド出口を形成し、マニホールド入口には塗布液を供給するポンプ22を、マニホールド出口には排出される塗布液の流量を調整する流量調整バルブ23を連結しておき、マニホールド17内に、スリットから吐出する塗布液量よりも大量の塗布液を供給し、一部の塗布液をマニホールド出口から排出することでマニホールド内におけるマニホールド入口側とマニホールド出口側での圧力差を小さくして膜厚精度を高める構成とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
塗布液を吐出するスリットと、該スリットに塗布液を供給するためのマニホールドと、該マニホールドに塗布液を供給するマニホールド入口と、前記マニホールドの端部から塗布液を排出するように形成されたマニホールド出口を備えたダイヘッドと、該ダイヘッドのマニホールド入口に塗布液を供給する塗布液供給手段と、前記ダイヘッドのマニホールド出口に連結され、排出される塗布液の流量を調整する流量調整手段を有するダイコーティング装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (9件):
4F041AA12
, 4F041AB01
, 4F041BA05
, 4F041BA35
, 4F041BA57
, 4F041CA03
, 4F041CA04
, 4F041CA17
, 4F041CA22
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
ダイヘッド
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-181624
出願人:大日本印刷株式会社
審査官引用 (2件)
-
塗工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-004287
出願人:井上金属工業株式会社
-
塗布方法及び塗布装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-322491
出願人:松下電器産業株式会社
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