ポリッシング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-181471
公開番号（公開出願番号）：特開平10-006209
出願日： 1996年06月21日
公開日（公表日）： 1998年01月13日
要約：

【要約】【課題】交換時の取扱いが容易なクロスカートリッジを具備したポリッシング装置を提供する。【解決手段】台座3にクロス4を張り付けてなるクロスカートリッジ2をターンテーブル1に着脱可能に取り付け、ターンテーブル1と共に回転するクロスカートリッジ2の上面のクロス4に研磨砥液を流下し、クロス上面に半導体ウエハ5を押し付けて半導体ウエハ5とクロスとの接触面を研磨するポリッシング装置において、クロスカートリッジ2を複数に分割された台座3と、これら台座3上に張り付けられた複数に分割されたクロス4とで構成したものとする。

請求項（抜粋）：

台座にクロスを張り付けてなるクロスカートリッジをターンテーブルに着脱可能に取り付け、ターンテーブルと共に回転するクロスカートリッジ上面のクロスに研磨砥液を流下し、クロス上面に被加工物を押し付けて被加工物とクロスとの接触面を研磨するポリッシング装置において、前記クロスカートリッジを複数に分割された台座と、これら台座上に張り付けられた複数に分割されたクロスとで構成したことを特徴とするポリッシング装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-213465 出願人：東芝機械株式会社, 株式会社東芝
特公平3-005413

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