特許
J-GLOBAL ID：200903042384846360

形状測定装置及び形状測定方法

発明者：
大橋 和寛

大橋 和寛 について


出願人/特許権者：
ホーヤ株式会社

ホーヤ株式会社 について


代理人 (1件)： 服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-195886
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028336
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】 測定対象物の長短に関係なく高精度の寸法測定を行うことができるようにする。【解決手段】 基準情報保持手段5は、指定された領域内の画像情報及びその画像の位置情報を基準情報として保持する。パターンマッチング手段6は、測定指令を受け取ると、画像撮影手段3で撮影されている画像内から、基準情報に含まれている画像情報と画像パターンが近似している適合領域を検出する。ずれ量演算手段7は、適合領域の位置と基準情報内の位置情報とのずれを算出する。測定手段9は、ずれ量演算手段7で算出されたずれ量によって補正された座標へ試料台を移動させることで、そのとき画像撮影手段3で撮影された画像を利用した測定を実行する。これにより、長寸法測定のように試料台の移動を伴う測定であっても、測定対象領域を正確に画像撮影手段3で捉えることができ、高精度の測定が可能となる。
請求項（抜粋）：
試料台上の試料を顕微鏡で拡大することで微細な形状を測定する形状測定装置において、前記顕微鏡を介して視認することのできる拡大画像を撮影する画像撮影手段と、移動指令を受け取ると、試料を乗せるべき試料台を指令された位置に移動する移動制御手段と、前記画像撮影手段で撮影された画像からパターンマッチング用エリアが指定されると、前記試料台の位置情報と前記パターンマッチング用エリア内のテンプレート画像情報とを基準情報として保持する基準情報保持手段と、測定指令を受け取ると、前記基準情報に含まれている位置情報への移動指令を前記移動制御手段へ出力し、そのとき前記画像撮影手段で撮影されている画像内から、前記基準情報に含まれているテンプレート画像情報と画像パターンが近似している適合領域を検出するパターンマッチング手段と、前記適合領域の位置と前記基準情報内の位置情報とのずれ量を算出するずれ量演算手段と、測定対象となる領域の座標を、前記ずれ量演算手段で算出されたずれ量で補正し、補正後の位置を指定した移動指令を前記移動制御手段へ出力することで、前記画像撮影手段で撮影された画像を利用した測定を実行する測定手段と、を有することを特徴とする形状測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 F ,  G06F 15/62 400 ,  H01L 21/30 541 R
Fターム (43件)：
2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA17 ,  2F065AA20 ,  2F065AA22 ,  2F065AA51 ,  2F065BB01 ,  2F065CC17 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065FF51 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL05 ,  2F065LL12 ,  2F065NN02 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ41 ,  2F065RR09 ,  2F065SS02 ,  2F065SS06 ,  2F065SS13 ,  5B057AA03 ,  5B057BA19 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DC02 ,  5B057DC33 ,  5F056AA06 ,  5F056EA04
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 試料の寸法測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-125592   出願人：株式会社日立製作所
  • 特開平3-249649
  • 特開平4-085540
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