特許

J-GLOBAL ID：200903082730681633

試料の寸法測定装置

発明者： 水野 文夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-125592
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304023
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は測定部分の形状や測定方向が任意であってもその部分の寸法測定を正確に行うのに適した試料の寸法測定装置を提供することにある。【解決手段】形状寸法測定に先立ち、測定部分に対応した測定用参照画像をコンピュ-タおよび制御装置18に予め登録しておく。形状寸法測定に際し、測定用参照画像を読み出し、測定部分の画像と測定用参照画像を照合し、照合結果から測定部分の画像と測定用参照画像の形状差を求め、この形状差から被測定個所の寸法を求める。

請求項（抜粋）：

試料の測定部分の画像を形成し、該画像をもとにして前記試料の測定部分の寸法を測定する試料の寸法測定装置において、前記測定部分に対応する測定用参照画像を予め登録しておき、該登録した測定用参照画像を読み出してこれと前記測定部分の画像とを照合し、該照合の結果から前記測定部分の画像と前記測定用参照画像との形状差を求め、該形状差をもとにして前記測定部分の寸法を求めることを特徴とする試料の寸法測定装置。

IPC (5件)：

G01B 11/02 ,  G01B 15/00 ,  G01N 37/00 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01B 11/02 H ,  G01B 15/00 B ,  G01N 37/00 F ,  H01L 21/66 J ,  G06F 15/62 405 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 寸法測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-035054   出願人：株式会社東芝
• 電子線測長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-086904   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平3-102202