特許
J-GLOBAL ID：200903042385089023
液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
栗原 浩之
, 村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-131944
公開番号（公開出願番号）：特開2008-284781
出願日： 2007年05月17日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：
【課題】引き出し配線を構成する層同士の密着力を向上させ、しいては、接続配線と引き出し配線との接続強度を向上して、信頼性を向上した液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】流路形成基板10と、流路形成基板10上に設けられた下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300と、圧電素子300の一端部から引き出されて、密着層と配線層とから構成された引き出し配線90と、引き出し配線90の圧電素子300に接続された一端部とは反対側の他端部側に電気的に接続された接続配線121とを具備し、引き出し配線90の接続配線121が接続された領域には、圧電素子300の少なくとも圧電体層70と同一層からなるが圧電素子300とは不連続の接続層301が設けられており、接続配線121が接続層301上に設けられた引き出し配線90に電気的に接続されている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板の前記圧力発生室に相対向する領域に設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子と、前記圧電素子の一端部から引き出されて、密着層とその上に形成された配線層とから構成された引き出し配線と、該引き出し配線の前記圧電素子に接続された一端部とは反対側の他端部側に電気的に接続された接続配線とを具備し、
前記引き出し配線の前記接続配線が接続された領域には、前記圧電素子の少なくとも前記圧電体層と同一層からなるが当該圧電素子とは不連続の接続層が設けられており、
前記接続配線が前記接続層上に設けられた前記引き出し配線に電気的に接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (2件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
2C057AF66
, 2C057AF69
, 2C057AF93
, 2C057AG85
, 2C057AG90
, 2C057AK07
, 2C057AQ02
, 2C057BA04
, 2C057BA14
