特許
J-GLOBAL ID：200903042392824634

ウェーハ位置決め装置

発明者：
佐藤 勝明

佐藤 勝明 について


出願人/特許権者：
山形日本電気株式会社

山形日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-133496
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008328
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】CCDリニアセンサを用いたウェーハ位置決め装置において、1つのCCDリニアセンサで誤差の少ない位置合わせ精度のウェーハ位置決め装置を提供する。【構成】ウェーハをたがいに直交方向に移動するXYステージ5,7と、ウェーハを回転させる回転ステージ3と、その回転角度を検出するエンコーダ4と、ウェーハ外周に光を投射するLEDアレー9と、その光を受ける位置に配置したCCDリニアセンサ10と、ウェーハを持ち上げるウェーハリフト11と、位置ズレ量及びオリエンテーションフラットの位置を計算し、その値に応じXYステージを駆動すると共に予め定められた位置にオリエンテーションフラットの位置を合わせる様に回転ステージを駆動する演算・制御部12とを備えるウェーハ位置決め装置。
請求項（抜粋）：
ウェーハを直交方向に移動するXYステージと、ウェーハを回転させる回転ステージと、その回転角度を検出する角度検出器と、ウェーハの外周に光を投射する投光部と、その光を受ける位置に配置したCCDリニアセンサと、ウェーハを持ち上げるリフトアップ部と、角度検出器とCCDリニアセンサの信号からウェーハ中心と回転ステージ中心との位置ズレ量及びオリエンテーションフラットの位置を計算し、おのおのの中心を合わせる様にXYステージを駆動すると共に、予め定められた位置にオリエンテーションフラットの位置を合わせる様に回転ステージを駆動する演算制御部とを備えることを特徴とするウェーハ位置決め装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  G01B 11/26 ,  H01L 21/027 ,  H01L 27/14
FI (2件)：
H01L 21/30 503 A ,  H01L 27/14 D
引用特許：
審査官引用 (5件)
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