特許
J-GLOBAL ID:200903042412206533
弾性表面波デバイス
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 均
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-280723
公開番号(公開出願番号):特開2007-096527
出願日: 2005年09月27日
公開日(公表日): 2007年04月12日
要約:
【課題】共振子であればQ値の低下、フィルタであれば挿入損失の増加を生じさせないSAWデバイスを提供する。【解決手段】SAWの伝搬方向に対する逆速度面が進行方向に対して凹となる圧電基板10を用いて形成されるSAWデバイスにおいて、IDT電極11a、11bを有する交差電極部2と、交差電極2より交差長方向外側に配置され、グレーティング電極12a、12bを有するグレーティング部3a、3bとを備え、グレーティング電極3a、3bの膜厚をIDT電極11a、11bの膜厚より厚くした。【選択図】図1
請求項(抜粋):
弾性表面波の伝搬方向に対する逆速度面が伝搬方向に対して凹となる圧電基板を用いて形成される弾性表面波デバイスにおいて、
交差電極を有する交差電極部と、
前記交差電極より交差長方向外側に配置され、グレーティング電極を有するグレーティング部と、を備え、
前記グレーティング電極の膜厚を前記交差電極の膜厚より厚くしたことを特徴とする弾性表面波デバイス。
IPC (1件):
FI (2件):
H03H9/145 D
, H03H9/145 Z
Fターム (6件):
5J097AA01
, 5J097BB11
, 5J097DD10
, 5J097DD22
, 5J097FF03
, 5J097KK09
引用特許:
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