固体撮像装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-150628
公開番号（公開出願番号）：特開平9-331056
出願日： 1996年06月12日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】従来の順次走査用の固体撮像装置では垂直転送電極が3層であったが、2層で構成される順次走査可能な固体撮像装置を提供することを目的とする。【解決手段】垂直転送部32は1層目の垂直転送電極33および35と2層目の垂直転送電極34および36を単位として構成され、垂直転送電極33および36は垂直方向の光電変換素子同士の間隙を通して水平方向の他の垂直転送部と共通化されている。導電性配線37は垂直転送部32の上および垂直方向の光電変換素子31同士の間隙の上に配置され、かつ垂直転送電極34および35とコンタクト窓38を介して電気的に接続されている。位相が1/3周期ずつずれた垂直駆動パルスを垂直転送電極33、導電性配線37および垂直転送電極36に印加することにより、光電変換素子31の信号電荷を混合することなく独立に垂直転送でき順次走査が可能となる。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に、2次元的に配置された複数個の光電変換素子と、前記光電変換素子に隣接し光電変換素子から読み出した信号電荷を垂直転送する垂直転送部と、前記垂直転送部から読み出した信号電荷を水平転送する水平転送部とを有する固体撮像装置であって、前記垂直転送部は各前記光電変換素子それぞれに対し2層構造で連続する4つの第1〜第4の垂直転送電極からなる単位垂直転送電極群と、前記単位垂直転送電極群の隣接する2つの垂直転送電極を電気的に接続する導電性配線とで構成され、各光電変換素子の信号電荷を混合することなく独立に垂直転送する手段を備えていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/148 , H01L 31/10 , H04N 5/335

FI (4件)：

H01L 27/14 B , H04N 5/335 F , H04N 5/335 U , H01L 31/10 A

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭61-144866
特開平4-000762
固体撮像装置及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-026555 出願人：シャープ株式会社

全件表示

前のページに戻る