特許

J-GLOBAL ID：200903042416071055

バンプ検査用データの教示方法

発明者： 澤野井 幸哉 ,  藤井 良樹
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 由充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-067602
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258047
出願日： 1993年03月02日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【目的】検査用データの教示に要する労力と時間とを大幅に節減する。【構成】各バンプの形成状態が良好な基準ウエハ1Sを用いてバンプの自動検査用のデータを教示する。まず、ウエハ1Sの左下端の第1のチップT1 を撮像し、その撮像画像より各バンプB11〜B14の位置座標,しきい値などの色パラメータ情報C1 〜C4 , バンプの良否判定のための検査基準の情報P1 〜P4 などを教示する。これら検査用データのうちバンプの位置座標を除くデータについては、他のチップTi についても同様であり、各データは共通データファイル25として制御処理部のメモリ13内に記憶される。他のチップTi の検査用データ教示時には、各バンプBi1〜Bi4の位置座標を教示した後、共通データファイル25のデータをそのままこのバンプ群の検査用データとして流用する。

請求項（抜粋）：

ウエハ上に形成された複数のバンプの各品質を自動検査するための検査用データをバンプ自動検査装置に教示する方法であって、特定のバンプの一群について前記バンプ自動検査装置に教示された検査用データの集合を、他のバンプの一群に含まれる各バンプの検査用データに流用してバンプ自動検査装置に教示することを特徴とするバンプ検査用データの教示方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 教示データ作成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-214358   出願人：オムロン株式会社