特許

J-GLOBAL ID：200903042424088293

弾性表面波素子電極

発明者： 太田 康博 ,  湯原 章綱
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-284729
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148966
出願日： 1994年11月18日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】電極膜の耐電力性が高く、内部損失が少ない、特性良好で長寿命な弾性表面波素子電極を提供する。【構成】電極膜の微細構造において、(結晶粒径の標準偏差/結晶粒径の平均粒径)比率を0.3以下、及び、(平均結晶粒径/膜厚)比率を0.2以上1.0以下とし、電極膜材料組成としてAlxMy(ただし、MはTi,Pd,Nb,Sc,Ni,Mg,Ge,Si,Co,Zn,Li,Ta,Au,Ag,Pt,Cr,Hf,Zr,Cd,W,V,Cuの少なくとも一つであり、x,yはwt%表示で0<y≦20,x+y=100)にする。

請求項（抜粋）：

圧電性基板上に金属薄膜よりなる多結晶体の電極を形成して成る弾性表面波素子電極において、前記電極に対して透過型電子顕微鏡観察を行った際、前記電極の結晶粒径の標準偏差に対する前記電極の結晶粒径の平均粒径の比が0.3以下であることを特徴とする弾性表面波素子電極。

IPC (2件)：

H03H 9/145 ,  H03H 3/08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-003510
  
• 弾性表面波素子電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-160514   出願人：株式会社日立製作所
• 弾性表面波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-064512   出願人：松下電器産業株式会社