特許

J-GLOBAL ID：200903042493944380

ダイシング用粘着フィルム

発明者： 山本 修 ,  塩貝 進
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-322002
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150425
出願日： 1998年11月12日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】薄型ウエハをダイシングする際に、チップ飛びやチッピングが生じないダイシング用粘着フィルムを提供すること。【解決手段】片面に粘着層(A)を設けた、厚さが10乃至100μmで引張弾性率が0.5〜20kgf/mm2 である軟質樹脂からなる層(B)と、片面に粘着層(C)を設けた、厚さが10乃至250μmで引張弾性率が30乃至400kgf/mm2 の樹脂からなる層(D)とを、A/B/C/Dの順になるように貼り合わせてなるダイシング用粘着フィルムをもちいる。

請求項（抜粋）：

片面に粘着層(A)を設けた、厚さが10乃至100μmで引張弾性率が0.5〜20kgf/mm2 である軟質樹脂からなる層(B)と、片面に粘着層(C)を設けた、厚さが10乃至250μmで引張弾性率が30乃至400kgf/mm2 の樹脂からなる層(D)とを、A/B/C/Dの順になるように貼り合わせてなるダイシング用粘着フィルム。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特許第2665383号
  
• ダイシング用ウエハ保持フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-229172   出願人：日立化成工業株式会社