特許
J-GLOBAL ID：200903042511061253
イオンビーム加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井島 藤治
, 鮫島 信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-323256
公開番号（公開出願番号）：特開2006-134737
出願日： 2004年11月08日
公開日（公表日）： 2006年05月25日
要約：
【課題】 本発明はイオンビーム加工装置に関し、TEMに用いて好適な試料を遮蔽板を使用せずに作製することができるイオンビーム加工装置を提供することを目的としている。【解決手段】 イオンビームを用いて試料を加工する装置において、イオン源1と試料4の間にウィーンフィルタ2を配置し、イオン源1からのイオンビームを前記ウィーンフィルタ2を通すことで、ビームの形状を試料の加工に適した形に整形するように構成する。このように構成すれば、TEMに用いて好適な試料を遮蔽板を使用せずに作製することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
イオンビームを用いて試料を加工する装置において、
イオン源と試料の間にウィーンフィルタを配置し、イオン源からのイオンビームを前記ウィーンフィルタを通すことで、ビームの形状を試料の加工に適した形に整形するようにしたことを特徴とするイオンビーム加工装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
5C033AA02
, 5C033AA03
, 5C033AA07
, 5C034DD02
, 5C034DD03
, 5C034DD06
, 5C034DD09
