特許
J-GLOBAL ID：200903042522773190
走査形電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-160433
公開番号（公開出願番号）：特開2004-247321
出願日： 2004年05月31日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：
【課題】 本発明は低加速電圧領域で空間分解能の高い走査像を得ることの出来る走査形電子顕微鏡を提供することを目的としている。【解決手段】 対物レンズ8の電子ビーム通路に加速円筒9を配置し、一次電子ビームの後段加速電圧10を印加する。また、試料12に重畳電圧13を印加して加速円筒9と試料12の間に一次電子ビームに対する減速電界を形成する。試料12から発生された二次電子や反射電子等の二次信号23は、試料直前の電界(減速電界)で加速円筒9内に吸引され、加速円筒9より上方に配置された二次電子検出器により検出される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
荷電粒子源から放出された荷電粒子線を試料上に照射し、当該試料から発生する二次信号に基づいて試料像を得る荷電粒子顕微鏡において、前記試料下に負の電位を印加するための導電体を配置すると共に、前記試料上には前記負の電位と同電位、或いは該電位より正の側の電位を印加するための電極が備えられていることを特徴とする荷電粒子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (1件)
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走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-306205
出願人：株式会社日立製作所
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