特許
J-GLOBAL ID:200903042575736343

赤外線センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松本 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-284504
公開番号(公開出願番号):特開平6-137935
出願日: 1992年10月22日
公開日(公表日): 1994年05月20日
要約:
【要約】【目的】 薄膜抵抗体を用いた赤外線センサにおいて、赤外線の検出感度を大幅に向上させて、各種の用途に好適に採用できる赤外線センサを提供する。【構成】 基板10に中空状態で支持された熱絶縁膜20の上に、一対の電極30、30を有する抵抗体層40からなる赤外線検出部を備え、前記基板10がパッケージの基台60上に実装されてなる赤外線センサにおいて、基台10のうち、空間を隔てて赤外線検出部と対面する個所68が基板の接合個所よりも凹んでいるか、基板の接合個所にスペーサが設けられ、スペーサの上に基板が接合されているか、により、赤外線検出部から基台60の表面までの距離を長くして、赤外線検出部から基台60の表面へ熱が逃げるのを阻止し、赤外線センサの感度を向上させる。
請求項(抜粋):
基板に中空状態で支持された熱絶縁膜の上に、一対の電極を有する抵抗体層からなる赤外線検出部を備え、前記基板がパッケージの基台上に実装されてなる赤外線センサにおいて、基台のうち、空間を隔てて赤外線検出部と対面する個所が基板の接合個所よりも凹んでいることを特徴とする赤外線センサ。
IPC (2件):
G01J 1/02 ,  G01J 5/02
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 赤外線センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-277575   出願人:松下電工株式会社
  • 特開平4-268773
  • 特表平5-507144

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