特許
J-GLOBAL ID:200903042621857169
収差補正装置及び方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤村 元彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-380242
公開番号(公開出願番号):特開2002-182174
出願日: 2000年12月14日
公開日(公表日): 2002年06月26日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 様々な形状を有する収差の補正が可能であり、また大きな収差をも補正可能な小型で高性能な収差補正装置を提供する。【解決手段】 電圧の印加によって光ビームに位相変化を生じせしめる複数の位相調整部からなる収差補正素子4と、複数の位相調整部の各々に電圧を印加して位相調整をなす位相調整手段37と、位相調整部の位相調整量が所定の限界調整量を超えることを判別する判別手段と、位相調整部の位相調整量が所定の限界調整量を超えると判別された場合に、当該判別手段の判別結果に基づいて位相調整部の位相調整量を光ビームの波長の整数倍に対応する位相量を減じた値に変更せしめる制御手段35と、を有する。
請求項(抜粋):
光ビームを導く光学系の光路中において生じた収差を補正する収差補正装置であって、電圧の印加によって前記光ビームに位相変化を生じせしめる複数の位相調整部からなる収差補正素子と、前記複数の位相調整部の各々に電圧を印加して位相調整をなす位相調整手段と、前記位相調整部の位相調整量が所定の限界調整量を超えることを判別する判別手段と、前記判別手段の判別結果に基づいて前記位相調整部の位相調整量を前記光ビームの波長の整数倍に対応する位相量を減じた値に変更せしめる制御手段と、を有することを特徴とする収差補正装置。
IPC (6件):
G02F 1/061 503
, G02F 1/061 502
, G02B 13/00
, G02F 1/01
, G02F 1/13 505
, G11B 7/135
FI (7件):
G02F 1/061 503
, G02F 1/061 502
, G02B 13/00
, G02F 1/01 D
, G02F 1/01 B
, G02F 1/13 505
, G11B 7/135 A
Fターム (25件):
2H079AA02
, 2H079AA12
, 2H079BA03
, 2H079CA02
, 2H079CA24
, 2H079DA08
, 2H079EB15
, 2H079EB17
, 2H079FA01
, 2H079KA01
, 2H079KA06
, 2H087KA13
, 2H087LA01
, 2H087NA01
, 2H087RA28
, 2H088EA47
, 2H088HA20
, 2H088HA24
, 2H088KA30
, 2H088MA20
, 5D119AA41
, 5D119BA01
, 5D119EC01
, 5D119JA30
, 5D119JA43
引用特許:
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