石英ガラス表面処理液およびその使用方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-083578
公開番号（公開出願番号）：特開平7-267679
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月17日
要約：

【要約】【目的】石英ガラス表面に清浄な凹凸を強度劣化を惹起することなく形成する表面処理液を提供すること。【構成】フッ酸とフッ化アンモニウムと酢酸を水に混合した石英ガラス表面処理液およびそれを使用した表面処理方法。

請求項（抜粋）：