イオン源

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本庄武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-068525
公開番号（公開出願番号）：特開2004-281129
出願日： 2003年03月13日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】カソード電極からの電子が効率的にプラズマ発生に寄与し,安定放電が可能なイオン源を提供する。【解決手段】微小開孔4が設けられたアノード電極3と,引き出し開孔5が設けられたカソード電極6との間に電圧が印加され,微小開孔4から引き出し開孔5に向かって高圧噴射された原料ガスをプラズマ10化するとともに引き出し開孔5を通じてイオンを引き出すイオン源において,カソード電極6のアノード電極3側の形状を,引き出し開口5を中心にその外側となるに従ってアノード電極3に近づく形状とすることにより,カソード電極6のアノード電極3側の表面の各位置からプラズマ10(原料ガス)に向かって電位が上昇する電位分布が形成されてなるイオン源X。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

微小開孔が設けられたアノード電極と開孔が設けられたカソード電極との間に電圧が印加されてなる電界形成手段を具備し,前記アノード電極に設けられた微小開孔から前記カソード電極に設けられた引き出し開孔に向かって高圧噴射された前記原料ガスをプラズマ化するとともに前記引き出し開孔を通じてイオンを引き出すよう構成されたイオン源において, 前記電界形成手段が,前記カソード電極で生成される電子をプラズマ化された前記原料ガスに向かわせる電位分布を前記カソード電極と前記アノード電極との間に形成するものであることを特徴とするイオン源。

IPC (3件)：

H01J27/20 , H01J27/08 , H01J37/08

FI (3件)：

H01J27/20 , H01J27/08 , H01J37/08

Fターム (3件)：

5C030DD04 , 5C030DD05 , 5C030DE01

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