微細パターンの段差測定装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高矢諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-005341
公開番号（公開出願番号）：特開平8-194737
出願日： 1995年01月17日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【目的】エッチング製品のパターンを、XYの2次元方向と共にZ方向の寸法を高精度に画像計測する。【構成】リードフレームのパターンをX方向、Y方向の微小区画毎に画像入力し、リードフレームと画像入力手段との間のZ軸方向の距離を変化させてオートフォーカスにより合焦点を読み込むと共に、1区画につき少なくとも1箇所以上でオートフォーカスを実行し、その点のX、Y座標値と合焦点のZ座標値とを読み込み、区画毎の2次元画像データを、又座標値を含めて3次元CADデータに変換する段差測定装置により、3次元CAD上でアイランド10のダウンセットを計測する。

請求項（抜粋）：

エッチング製品のパターンをX方向、Y方向の微小区画毎に画像入力する画像入力手段と、エッチング製品と画像入力手段との間のZ軸方向の距離を変化させて合焦点に一致させるオートフォーカス手段と、各区画パターンを画像入力する際、1区画につき少なくとも1箇所以上でオートフォーカスを実行し、その点のX、Y座標値及び合焦点のZ座標値を読み取る手段と、入力された区画毎の2次元画像データを、読み取ったZ座標値を含めて3次元CADデータに変換するラスタ・ベクタ変換手段と、を備えていることを特徴とする微細パターンの段差測定装置。

IPC (3件)：

G06F 17/50 , G01B 11/22 , G06T 7/00

FI (2件)：

G06F 15/60 666 C , G06F 15/62 405 A

引用特許：

審査官引用 (8件)

薄板状物の外観検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-075104 出願人：北城徹也
特開平4-145406
特開平3-081602

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