特許

J-GLOBAL ID：200903042768639698

イオン銃

発明者： 松本 繁治 ,  小田切 耀
出願人/特許権者： 株式会社シンクロン
代理人 (1件)： 臼村 文男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-332614
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167397
出願日： 1994年12月13日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【構成】 イオン化室11内で発生せしめたイオンを、イオン化室に対して電気的に絶縁して取り付けられた加速電極31により加速してイオン化室外部に取り出すイオン銃において、直径が大きな絶縁性リング37と、直径が小さな絶縁性リング39とを交互に少なくとも3枚以上重ねて螺合部材45に装着し、これら絶縁性リング37,39を介して螺合部材により、加速電極をイオン化室に対して絶縁して固定したイオン銃。【効果】 直径が大きい絶縁性リングと小さい絶縁性リングを交互に少なくとも3枚以上重ねて螺合部材に装着して、加速部材をイオン化室に対して絶縁して固定することにより、放電の繰返しにより導電性物質が絶縁性リングに付着し、導電路が形成されて短絡を生じることを防止できる。

請求項（抜粋）：

イオン化室内で発生せしめたイオンを、イオン化室に対して電気的に絶縁して取り付けられた加速電極により加速してイオン化室外部に取り出すイオン銃において、直径が大きな絶縁性リングと、直径が小さな絶縁性リングとを交互に少なくとも3枚以上重ねて螺合部材に装着し、これら絶縁性リングを介して螺合部材により、加速電極をイオン化室に対して絶縁して固定したことを特徴とするイオン銃。

IPC (3件)：

H01J 37/08 ,  H01J 27/08 ,  H01J 37/147

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平2-065033
  
• 特開昭61-034832
  
• ECR型イオン源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-037541   出願人：日新電機株式会社

審査官引用 (1件)

• 特開平2-065033