特許
J-GLOBAL ID:200903042807741373
可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
尾仲 一宗 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-166398
公開番号(公開出願番号):特開2001-352744
出願日: 2000年06月02日
公開日(公表日): 2001年12月21日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、スライダのベッドに対する高速作動性、応答性を更に向上して、テーブルのベッドに対する位置決めを一層高精度化することが可能な可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライダ装置を提供する。【解決手段】 スライド装置1の電機子組立体10への通電を3相通電方式とすることで、駆動回路をスライド装置1の内部から外部のドライバ側に移設し、ベッド2の構造を簡単化し、高さHを低くできる。界磁マグネット13として希土類磁石(ネオジウム磁石)を用いているので磁束密度が高まり、テーブル3に高推力が得られる。テーブル3の位置を検出するエンコーダを光学式リニアスケール15を有する光学式エンコーダ14とすることで、検出精度が向上される。検出用ケーブルが固定側であるので、低発塵でありクリーンな環境に適する。
請求項(抜粋):
磁性材料である鋼製のベッド、前記ベッドの長手方向に直動案内ユニットを介してスライド自在に設けられた磁性材料である鋼製のテーブル、前記テーブルの前記ベッドに対する対向面に前記テーブルのスライド方向に極性が交互に異なる磁極が並設された界磁マグネット、前記界磁マグネットに対向して前記ベッドの前記テーブルに対する対向面に配置された電機子コイルを有し且つ前記界磁マグネットが生じさせる磁束と前記電機子コイルに流れる電流との電磁相互作用により前記テーブルをスライド自在に位置決め駆動する電機子組立体、及び前記ベッドに対する前記テーブルのスライド方向の位置を検出するエンコーダを具備し、前記電機子組立体は3相通電方式で各相の電流が供給される3つの前記電機子コイルを有し、前記界磁マグネットは5つの前記磁極が交互に並べて配置された希土類磁石であり、更に前記エンコーダは前記テーブルに配設された光学式リニアスケールと前記光学式リニアスケールに対向して前記ベッドに配設されて前記光学式リニアスケールを検出するセンサとから構成される光学式エンコーダであることから成る可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置。
IPC (3件):
H02K 41/02
, B23Q 5/28
, H02K 41/03
FI (3件):
H02K 41/02 C
, B23Q 5/28 B
, H02K 41/03 A
Fターム (12件):
5H641BB03
, 5H641BB06
, 5H641BB19
, 5H641GG02
, 5H641GG05
, 5H641GG07
, 5H641GG26
, 5H641HH03
, 5H641JA09
, 5H641JA11
, 5H641JA13
, 5H641JA14
引用特許:
審査官引用 (6件)
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小形リニアモータテーブル
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-099400
出願人:日本トムソン株式会社
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特開平4-067763
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多軸位置決め機械および方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-153696
出願人:フォードモーターカンパニー
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特開昭63-249461
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コイル巻線装置及び巻線方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-226282
出願人:株式会社ニコン
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特開平2-254959
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