特許
J-GLOBAL ID：200903042812054554
製版装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-131656
公開番号（公開出願番号）：特開平10-307404
出願日： 1997年05月07日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：
【要約】【課題】 熱効果によって溶融したフォトレジストが孔の周縁に盛り上がり、銅板から剥離した状態となるなどの課題があった。【解決手段】 パルス幅が300ns程度の紫外線パルス2を射出する紫外線パルス射出手段1と、紫外線パルス2を銅板5のフォトレジスト膜4に集光して照射し、当該フォトレジスト膜4を除去して孔6を形成する集光照射手段3とを備えて構成し、孔6の形状が盛り上がったり爆裂状になったりせず、集光した紫外線パルス2のスポット形状とほぼ同じ形状の孔6を形成でき、高精度の製版を行うことができるようにした。
請求項（抜粋）：
パルス幅が300ナノ秒程度の紫外線パルスを射出する紫外線パルス射出手段と、前記紫外線パルス射出手段によって射出された前記紫外線パルスを、フォトレジスト膜を有した製版用の版面に集光して照射し、当該フォトレジスト膜を除去する集光照射手段とを備えた製版装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 511
, B41C 1/055 501
G03F 7/20 511
, B41C 1/055 501
