特許
J-GLOBAL ID：200903042845659478
感光性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-266716
公開番号（公開出願番号）：特開2007-133377
出願日： 2006年09月29日
公開日（公表日）： 2007年05月31日
要約：
【課題】アルカリ現像可能で、高感度であり、現像スカムを生じることなくパターンが得られ、かつ金属上でパターン加工を行った場合でも下地金属を腐食しないポリイミド膜を形成することのできる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(a)アルカリ可溶性ポリイミドおよび/またはアルカリ可溶性ポリイミド前駆体、(b)不飽和結合含有化合物および(c)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、(c)光重合開始剤が1つのフェニル基は置換されているトリフェニルビイミダゾール化合物および/またはカルバゾール基を有するオキシム化合物を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(a)アルカリ可溶性ポリイミドおよび/またはアルカリ可溶性ポリイミド前駆体、(b)不飽和結合含有化合物および(c)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、(c)光重合開始剤が一般式(1)で表されるビイミダゾール化合物および/または一般式(2)で表されるオキシム化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/031
, G03F 7/037
, G03F 7/004
, H01L 21/027
G03F7/031
, G03F7/037 501
, G03F7/004 501
, H01L21/30 502R
2H025AA01
, 2H025AA04
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC32
, 2H025BC43
, 2H025CA01
, 2H025CA22
, 2H025CA28
, 2H025CB25
, 2H025CC17
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H025FA29
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (1件)
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