特許
J-GLOBAL ID：200903042868151986
形状測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-215998
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194139
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 高度な機械加工を必要とすることなく、高精度な形状測定ができ、また、従来では測定不可能であった形状も測定できる形状測定方法を提供する。【構成】 移動機構によって形成される測定空間内にセットされた被測定物の形状に応じた形状の測定用データムを測定空間内に形成し(ST13,14)、この測定用データムに従って検出器と被測定物とを相対移動させながら検出器と被測定物との間の変位量を測定し(ST15)、前記測定用データムに対する前記測定データから被測定物の形状を演算する(ST16)。測定空間内に設定した測定用データムであるから、高度な機械加工を必要とすることなく、任意の形状の測定用データムを設定することができる。
請求項（抜粋）：
検出器と被測定物とを相対移動させる移動機構を備えた形状測定機による形状測定方法であって、前記移動機構によって形成される測定空間内にセットされた被測定物の測定形状に応じた形状の測定用データムを測定空間内に設定する測定用データム設定工程と、この測定用データム設定工程によって設定された測定用データムに従って前記検出器と被測定物とを相対移動させながら前記検出器と被測定物との間の変位量を測定する測定工程と、前記測定空間内に設定された測定用データムに対する前記測定工程で得られた測定データから被測定物の形状を演算する形状演算工程と、を備えることを特徴とする形状測定方法。
IPC (2件)：
G01B 11/24
, G01B 21/20 101
