特許

J-GLOBAL ID：200903042894050055

感光性組成物及びパタ-ン形成方法

発明者： 後河内 透 ,  信田 直美 ,  浅川 鋼児 ,  沖野 剛史
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-070591
公開番号（公開出願番号）：特開2000-122294
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】 短波長光に対する透明性が優れるとともに高いドライエッチング耐性を備え、かつアルカリ現像で解像性の良好で密着性の高いレジストパターンを形成することができる感光性組成物を提供する。【解決手段】 本発明は、5員環、6員環、及び7員環からなる群より選ばれる少なくとも2つ以上の環の組み合わせよりなる有橋脂環式骨格を構造中に含む樹脂と、光酸発生剤とを少なくとも含む感光性組成物であって、前記樹脂における有橋脂環式骨格内を構成する少なくとも1つの炭素が二重結合を介して酸素と結合していることを特徴とする感光性組成物である。

請求項（抜粋）：

5員環、6員環、及び7員環からなる群より選ばれる少なくとも2つ以上の環の組み合わせよりなる有橋脂環式骨格を構造中に含む樹脂と、光酸発生剤とを少なくとも含む感光性組成物であって、前記樹脂における有橋脂環式骨格を構成する少なくとも1つの炭素が二重結合を介して酸素と結合していることを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/032 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/032 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ラクトン構造を有する(メタ)アクリレート誘導体、重合体、フォトレジスト組成物、及びパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-188853   出願人：日本電気株式会社