特許
J-GLOBAL ID：200903042943487685
酸化亜鉛育成用種結晶、酸化亜鉛種結晶の育成方法、および、その育成装置。
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
脇 篤夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-142973
公開番号（公開出願番号）：特開2003-221298
出願日： 2002年05月17日
公開日（公表日）： 2003年08月05日
要約：
【要約】【課題】 効率的で品質のよい酸化亜鉛単結晶育成用種結晶の形を求める。【解決手段】 酸化亜鉛の単結晶から切り出した種結晶により、水熱合成法で単結晶を育成すると、種結晶のm面が良質な結晶に成長し、m面以外では結晶欠陥領域を生ずる。従って種結晶のc軸に平行な表面を形成する平面は任意のa軸に沿った互いに平行なm面を少なくとも2面有するように形成する。また、種結晶のc軸に平行な表面を形成する平面が、互いに平行なm面2面と、他のa軸に沿ったm面2面から構成される四辺形とするか、6面のm面から構成される六辺形とする。特に育成した単結晶をcカットウェハーに切り出して発光素子を形成する場合は正六角形断面の種結晶から育成した欠陥領域のない単結晶を使用する。
請求項（抜粋）：
酸化亜鉛の単結晶から切り出された酸化亜鉛育成用種結晶であって、上記種結晶のc軸に平行な表面を形成する平面は任意のa軸に沿った互いに平行なm面を少なくとも2面有することを特徴とする酸化亜鉛育成用種結晶。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
4G077AA02
, 4G077BB07
, 4G077CB03
, 4G077ED02
, 4G077HA02
, 4G077HA12
, 4G077KA01
, 4G077KA03
, 4G077KA07
, 4G077KA11
審査官引用 (3件)
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酸化亜鉛単結晶の育成方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-278542
出願人：日本碍子株式会社
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特開昭61-053198
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特開昭54-162689
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