特許
J-GLOBAL ID:200903042983003141
ポリイミド系絶縁膜用組成物、絶縁膜および絶縁膜の形成法
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-055779
公開番号(公開出願番号):特開2001-240650
出願日: 2000年03月01日
公開日(公表日): 2001年09月04日
要約:
【要約】【課題】 貯蔵安定性(比較的低粘度が一定に保たれる)および印刷性が良好で、絶縁膜(硬化膜)が耐溶剤性、耐熱性と柔軟性という相反する特性を併せ持つポリイミド系絶縁膜用組成物、その絶縁膜および絶縁膜の形成法を提供することである。【解決手段】 (a)テトラカルボン酸成分と、一般式(1) H2N-R1-[Si(R2)2-O-]n1-Si(R2)2-R1-NH2 (1)で示されるジアミノポリシロキサン45〜90モル%、極性基を有する芳香族ジアミン0.5〜40モル%及び複数のベンゼン環を有する芳香族ジアミン0〜50モル%からなるジアミン成分とから得られる有機溶媒可溶性のポリイミドシロキサン100重量部、(b)多価イソシアネ-ト2〜40重量部及び(c)有機溶媒からなることを特徴とするポリイミド系絶縁膜用組成物を提供する。
請求項(抜粋):
(a)テトラカルボン酸成分と、一般式(1) H2N-R1-[Si(R2)2-O-]n1-Si(R2)2-R1-NH2 (1)(但し、式中のR1は2価の炭化水素基又はフェニル基を示し、R2は独立に炭素数1〜3のアルキル基またはフェニル基を示し、n1は3〜30の整数を示す。)で示されるジアミノポリシロキサン45〜90モル%、極性基を有する芳香族ジアミン0.5〜40モル%及び複数のベンゼン環を有する芳香族ジアミン0〜50モル%からなるジアミン成分とから得られる有機溶媒可溶性のポリイミドシロキサン100重量部、(b)多価イソシアネ-ト2〜40重量部及び(c)有機溶媒からなることを特徴とするポリイミド系絶縁膜用組成物。
IPC (7件):
C08G 18/61
, C08G 73/10
, C08K 3/00
, C08L 75/12
, H01B 3/30
, H01B 17/56
, H01L 21/312
FI (8件):
C08G 18/61
, C08G 73/10
, C08K 3/00
, C08L 75/12
, H01B 3/30 D
, H01B 3/30 M
, H01B 17/56 L
, H01L 21/312 B
Fターム (96件):
4J002AC072
, 4J002CK051
, 4J002DG046
, 4J002DJ016
, 4J002DJ046
, 4J002DJ056
, 4J002FD012
, 4J002FD016
, 4J002GQ05
, 4J034DA01
, 4J034DM01
, 4J034DM05
, 4J034HA01
, 4J034HA07
, 4J034HB08
, 4J034HC03
, 4J034HC09
, 4J034HC12
, 4J034HC13
, 4J034HC17
, 4J034HC22
, 4J034HC35
, 4J034HC46
, 4J034HC52
, 4J034HC64
, 4J034HC67
, 4J034HC71
, 4J034HC73
, 4J034HD03
, 4J034HD05
, 4J034HD06
, 4J034HD07
, 4J034HD08
, 4J034HD12
, 4J034QA05
, 4J034QB11
, 4J034RA14
, 4J043PA04
, 4J043PC066
, 4J043SA06
, 4J043SA85
, 4J043SB04
, 4J043TA14
, 4J043TA22
, 4J043TB01
, 4J043UA041
, 4J043UA042
, 4J043UA121
, 4J043UA122
, 4J043UA132
, 4J043UA262
, 4J043UB011
, 4J043UB012
, 4J043UB022
, 4J043UB061
, 4J043UB121
, 4J043UB122
, 4J043UB152
, 4J043UB301
, 4J043UB302
, 4J043UB401
, 4J043UB402
, 4J043VA021
, 4J043VA022
, 4J043VA061
, 4J043VA062
, 5F058AA04
, 5F058AA08
, 5F058AC02
, 5F058AC04
, 5F058AF06
, 5F058AG01
, 5F058AH03
, 5G305AA07
, 5G305AA11
, 5G305AB17
, 5G305AB24
, 5G305AB26
, 5G305AB27
, 5G305AB32
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, 5G305AB40
, 5G305BA09
, 5G305CA21
, 5G305DA22
, 5G333AA03
, 5G333AB12
, 5G333AB22
, 5G333CB04
, 5G333CB12
, 5G333CB16
, 5G333CB19
, 5G333CC03
, 5G333CC18
, 5G333DA07
, 5G333DA11
引用特許:
引用文献:
審査官引用 (2件)
-
化学辞典, 19941001, 第798頁
-
高分子化学, 19930425, 第4版, 第152-153頁
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