特許
J-GLOBAL ID：200903043024810034

有機機能素子封止膜検査方法及び構造

発明者：
久保田 広文

久保田 広文 について


出願人/特許権者：
パイオニア株式会社

パイオニア株式会社 について


代理人 (1件)： 藤村 元彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-092220
公開番号（公開出願番号）：特開2006-278021
出願日： 2005年03月28日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：
【課題】 有機機能素子に対する酸素及び水分などに対する遮蔽性が高くその特性が劣化しにくい有機機能素子の封止膜の検査方法を提供する。【解決手段】 有機機能素子を覆う封止膜の検査方法は、有機機能素子上にこれを覆う封止膜を形成する封止工程後の封止膜上に亘って金属膜を形成する金属成膜工程と、化成液に金属膜を接触させて金属膜を陽極として陽極酸化を行い陽極酸化金属膜を形成する陽極酸化工程と、封止膜及び陽極酸化金属膜に覆われた有機機能素子の電気的特性の検査を行う検査工程と、を含む【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
有機機能素子を覆う封止膜の検査方法であって、 有機機能素子上に前記有機機能素子を覆う封止膜を形成する封止工程後の前記封止膜上に亘って金属膜を形成する金属成膜工程と、 化成液に前記金属膜を接触させて前記金属膜を陽極として陽極酸化を行い陽極酸化金属膜を形成する陽極酸化工程と、 前記封止膜及び前記陽極酸化金属膜に覆われた前記有機機能素子の電気的特性の検査を行う検査工程と、を含むことを特徴とする有機機能素子封止膜検査方法。
IPC (4件)：
H05B 33/12 ,  H05B 33/04 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (4件)：
H05B33/12 Z ,  H05B33/04 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (7件)：
3K007AB12 ,  3K007AB13 ,  3K007AB18 ,  3K007BB02 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA02
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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