特許

J-GLOBAL ID：200903043025659909

プラズマエッチング用電極板

発明者： 松岡 武志
出願人/特許権者： 東海カーボン株式会社
代理人 (1件)： 福田 保夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-114429
公開番号（公開出願番号）：特開平10-291813
出願日： 1997年04月16日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】 エッチング消耗が少なく、パーティクルの発生が抑制されたプラズマエッチング用電極板を提供する。【解決手段】 破断面組織の表面粗さ(Rms) が5〜30nmの組織性状を備えるガラス状カーボンからなることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。ガラス状カーボンの微細組織構造が一定範囲の水準にあるアモルファス組織構造を備えることにより、耐プラズマ性に優れ、発生するパーティクル数を低減化することが可能となる。

請求項（抜粋）：

破断面組織の表面粗さ(Rms) が5〜30nmの組織性状を備えるガラス状カーボンからなることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。

IPC (4件)：

C01B 31/02 101 ,  C04B 35/52 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/302

FI (4件)：

C01B 31/02 101 A ,  C23F 4/00 A ,  C04B 35/52 A ,  H01L 21/302

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-119723
  
• プラズマエッチング用電極板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-157515   出願人：東海カーボン株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Scanning Tunneling Microscopy of Carbon Surface