特許

J-GLOBAL ID：200903043032229502

耐プラズマ性に優れたガラス状カーボン材

発明者： 藤塚 公仁弘 ,  鈴木 義雄
出願人/特許権者： 東海カーボン株式会社
代理人 (1件)： 福田 保夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-118661
公開番号（公開出願番号）：特開平11-310459
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】 プラズマエッチング装置やプラズマCVD装置等の半導体製造装置におけるプラズマに暴露される部材として有用な耐プラズマ性に優れたガラス状カーボン材を提供する。【解決手段】 黒鉛六角網面層の平均格子面間隔d002 の値が0.365nm以下、結晶子Lc(002)の大きさが1.5nm以上の結晶性状を備え、窒素含有量が100 ppm以下であって、組織内に存在する窒素原子のうち水素原子と結合するN-H結合の比率が30%以下であることを特徴とする耐プラズマ性に優れたガラス状カーボン材。

請求項（抜粋）：

黒鉛六角網面層の平均格子面間隔d002 の値が0.365nm以下、結晶子Lc(002)の大きさが1.5nm以上の結晶性状を備え、窒素含有量が100ppm 以下であって、組織内に存在する窒素原子のうち水素原子と結合するN-H結合の比率が30%以下であることを特徴とする耐プラズマ性に優れたガラス状カーボン材。

IPC (3件)：

C04B 35/52 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

C04B 35/52 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• プラズマエッチング用電極板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-157515   出願人：東海カーボン株式会社
• 特開平4-260605