特許
J-GLOBAL ID：200903043054666329
紫外放射光および/または真空紫外放射光を放射するための無電極ランプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
萼 経夫
, 宮崎 嘉夫
, 舘石 光雄
, 小野塚 薫
, 田上 明夫
, ▲高▼ 昌宏
, 中村 壽夫
, 加藤 勉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-531371
公開番号（公開出願番号）：特表2008-512845
出願日： 2005年09月08日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：
本発明は、紫外放射光および/または真空紫外放射光を放射するための無電極ランプおよび方法であって、超高純度および/または低欠陥の石英材料から形成される放電容器と、該放電容器の内部領域に配置される紫外光および/または真空紫外光の発光物質とを含んでいる。超高純度および/または低欠陥の石英材料から形成される無電極ランプにより、使用の間の劣化が最小化される。
請求項（抜粋）：
超高純度および/または低欠陥の石英材料から形成されるとともに、封止された内部領域を形成する放電容器と、
前記内部領域に配置されるとともに、エネルギー源に曝されることにより紫外光および/または真空紫外光を放射する紫外光および/または真空紫外光の発光物質と、
を含むことを特徴とする無電極ランプ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01J65/04 B
, H01J65/04 A
, H01J61/30 L
5C039NN09
, 5C039PP01
, 5C043AA06
, 5C043BB02
, 5C043CC08
, 5C043DD03
, 5C043EB15
, 5C043EC06
