特許
J-GLOBAL ID：200903083114353050
放電ランプおよび真空紫外光源装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-331282
公開番号（公開出願番号）：特開平9-171799
出願日： 1995年12月20日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】 可視光を肉眼で観察することにより動作状態の診断が可能な放電ランプ及び真空紫外光源装置、並びに放電容器又はランプハウスの窓部材の真空紫外光の透過率が低下せず使用寿命の長い放電ランプ及び真空紫外光源装置の提供。【解決手段】 放電ランプは、真空紫外光を放出する放電ランプにおいて、放電容器が定格動作状態において波長650nm付近の蛍光が目視で観測されない石英ガラスにより構成されている。真空紫外光源装置は、放電容器を有し、真空紫外光を放出する放電ランプ1と、放電ランプ1からの真空紫外光を取り出す窓部材33を有するランプハウス30とを具え、ランプハウス30内が不活性ガスで充満された状態で作動される真空紫外光源装置において、放電容器および窓部材33の少なくとも一方は、放電ランプ1の定格動作状態において、波長650nm付近の蛍光が目視で観測されない石英ガラスで構成されている。
請求項（抜粋）：
放電空間を形成する放電容器を有し、真空紫外光を放出する放電ランプにおいて、前記放電容器は、当該放電ランプの定格動作状態において、波長650nm付近における蛍光が目視で観測されない特定の石英ガラスにより構成されていることを特徴とする放電ランプ。
IPC (3件)：
H01J 61/30
, G21K 5/00
, H01J 65/04
H01J 61/30 L
, G21K 5/00 Z
, H01J 65/04 A
