インライン蛍光X線膜厚モニタ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-022250
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218418
出願日： 1998年02月03日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】インラインに設置するため小型でライン特性の優れた検出効率と角度特性を向上させた蛍光X線モニタを提供する。【解決手段】蛍光X線法を原理とし,エンドウィンドウ型のX線管球からの一次X線照射ビームと同軸で環状の検出面を有する検出器を配置する。

請求項（抜粋）：

蛍光X線法を原理とし,エンドウィンドウ型のX線管球からのX線照射ビームと同軸で環状の検出面を有する検出器を配置することによって検出効率と角度特性を向上させたことを特徴とする小型な蛍光X線膜厚モニタ。

IPC (4件)：

G01B 15/02 , G01N 23/223 , G21K 1/00 , H01J 47/00

FI (4件)：

G01B 15/02 D , G01N 23/223 , G21K 1/00 X , H01J 47/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

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