エキシマレーザ装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：熊谷隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-113972
公開番号（公開出願番号）：特開2000-307175
出願日： 1999年04月21日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】レーザ容器内に封入されたレーザガス圧力が変化してもファン回転数を一定に維持し、主放電電極間のレーザガス流を一定にでき、レーザガス封入圧力が変化しても高繰返し発振運転を行なえ、消費動力の少ないエキシマレーザ装置。【解決手段】レーザ容器1、一対の主放電電極2、高速レーザガス流を作り出す貫流ファン3、回転軸4を支持する軸受、貫流ファン3を駆動するモータ12を備えたエキシマレーザ装置において、磁性材料のスリット付円板13を貫流ファン回転軸4に固着してレーザ容器内に1連通した気密空間内に配置し、対向する位置にスリット幅より薄く2箇所の突起部を有する磁性体をレーザ容器1外にキャンを挟んで配置し、U型磁性体15にコイル14を取付け発生する誘導起電力を用いて貫流ファン3回転数を検出し、ファン回転数からモータへの電源電圧・電源周波数を制御し、ファン回転数を一定にする制御回路30を具備する。

請求項（抜粋）：

レーザガスを封入するレーザ容器と該レーザ容器内に配置され、高繰返し発振を可能とする放電を得るための一対の主放電電極と、該一対の主放電電極間に高速のレーザガス流を作り出すファンと、該ファンの回転軸を回転自在に支持する軸受と、該ファンを駆動するモータを備えたエキシマレーザ装置において、前記ファンの回転数を検出する回転数検出手段を設け、該回転数検出手段で検出したファン回転数から前記モータへの電源電圧及び電源周波数の一方若しくは両方を制御し、該ファンの回転数を一定に制御する制御手段を具備することを特徴とするエキシマレーザ装置。

Fターム (5件)：

5F071AA06 , 5F071DD03 , 5F071EE08 , 5F071JJ07 , 5F071JJ08

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭58-031588
特開昭62-281484
回転センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-304773 出願人：愛知製鋼株式会社

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