特許

J-GLOBAL ID：200903043120189944

超音波洗浄ノズル

発明者： 正木 彰
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-024092
公開番号（公開出願番号）：特開平7-232143
出願日： 1994年02月22日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【目的】 この発明は超音波振動が付与された洗浄液で被洗浄物を洗浄する場合に、その洗浄効果を高めることができるようにした超音波洗浄ノズルを提供することにある。【構成】 洗浄液を流通させる流路5が形成されたノズル本体2と、上記流路に流入する洗浄液に超音波振動を付与する超音波振動子11と、上記流路に設けられこの流路に流入して超音波振動が付与された洗浄液を整流して流出させる整流体12とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

洗浄液を流通させる流路が形成されたノズル本体と、上記流路に流入する洗浄液に超音波振動を付与する超音波振動子と、上記流路に設けられこの流路に流入して超音波振動が付与された洗浄液を整流して流出させる整流手段とを具備したことを特徴とする超音波洗浄ノズル。

IPC (5件)：

B08B 3/12 ,  B06B 3/04 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 超音波洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-163037   出願人：株式会社カイジョー

審査官引用 (1件)

• 超音波洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-163037   出願人：株式会社カイジョー