特許

J-GLOBAL ID：200903043131551980

ステージ制御装置

発明者： 涌井 伸二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-239378
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068396
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】 位置決め制御されるステージの動きに対し十分なダンピングを付与する。【解決手段】 ステージ4の位置決め制御を行なう位置のフィードバックループ12Y、13Y、14〜16、5L、5R、6L、6Rを備えたステージ制御装置において、前記ステージの絶対速度を検出する速度センサ19を設け、その検出出力を、前記ステージの動きに対してダンピングを付与するように負帰還する。

請求項（抜粋）：

ステージの位置決め制御を行なう位置のフィードバックループを備えたステージ制御装置において、前記ステージの絶対速度を検出する速度センサを備え、その検出出力は、前記ステージの動きに対してダンピングを付与するように負帰還されるものであることを特徴とするステージ制御装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G05D 3/12 305 ,  G05D 3/12 306

FI (3件)：

H01L 21/30 503 A ,  G05D 3/12 305 L ,  G05D 3/12 306 S

Fターム (29件)：

5F046AA23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046DB05 ,  5F046DB14 ,  5H303AA06 ,  5H303BB02 ,  5H303BB07 ,  5H303BB12 ,  5H303CC01 ,  5H303CC05 ,  5H303CC06 ,  5H303DD04 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303FF06 ,  5H303GG13 ,  5H303HH01 ,  5H303JJ01 ,  5H303JJ04 ,  5H303KK02 ,  5H303KK03 ,  5H303KK04 ,  5H303KK18 ,  5H303KK20 ,  5H303MM05