特許
J-GLOBAL ID:200903043144387844
吸着パッドおよびそれを用いた吸着方法、輸送ロボット
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
芝野 正雅
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-346105
公開番号(公開出願番号):特開2004-174686
出願日: 2002年11月28日
公開日(公表日): 2004年06月24日
要約:
【課題】厚さが数十μmである薄膜材6の吸着を行うことができる吸着パッド1を提供する。【解決手段】吸着パッド1は、吸引ポンプに接続された円筒状の導管部2と、導管部2の先端に形成されて薄膜材6の表面に吸着する吸着部3とを備え、吸着部3に通気孔4を設けることにより吸着部3の吸着力を調整する構成となっている。また、導管部2と吸着部3とはバネ5を介して接続されており、吸着部3は導管部2の延在方向に移動可能となっている。このような構造から、厚さが数十μmである薄膜材6を問題なく吸着することができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
吸引ポンプに接続された導管部と、前記導管部の先端に形成されて薄膜材の表面に吸着する吸着部とを備え、前記吸着部に通気孔を設けることを特徴とする吸着パッド。
IPC (1件):
FI (2件):
B25J15/06 H
, B25J15/06 M
Fターム (10件):
3C007BT01
, 3C007DS01
, 3C007DS02
, 3C007DS07
, 3C007FS01
, 3C007FT02
, 3C007FT17
, 3C007NS09
, 3C007NS10
, 3C007NS13
引用特許:
審査官引用 (3件)
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シート状部材の保持装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-192842
出願人:東芝機械株式会社
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特開平4-223943
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基板搬送用フィンガ組立体
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-128960
出願人:キヤノン株式会社
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