特許
J-GLOBAL ID:200903043172547547

真空シール構造

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 相田 伸二 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-306969
公開番号(公開出願番号):特開2001-124208
出願日: 1999年10月28日
公開日(公表日): 2001年05月11日
要約:
【要約】【課題】真空を内在する配管をフランジに溶接する必要がなく、製造ならびに保守・交換が容易な真空シール構造を提供する。【解決手段】接続部材13、43の端部に、軸心方向に直角な方向に伸延した形で鍔部13a、43aを形成し、鍔部の接続面側に、外周部の肉厚が外側にゆくほど小さくなる形でガスケット当接面13b、43bを形成し、ガスケット当接面間にガスケットを配置し、フランジ21、21′でそのガスケットを挟圧保持する。接続部材43、13とフランジ間を相互に固定する必要がないので、固定のための溶接、封着時のトラブルが生じることがなく、また、接続部材が破損した場合にはそれ自身のみを交換すればよくメンテナンスが容易である。溶接性、放出ガス等の高度の特性が要求される真空用材料は、接続部材のみの使用でよく、フランジの材質は限定されないため、安価に製作でき、接続部材と支持部材を溶接する必要がないため、支持部材は再利用可能である。
請求項(抜粋):
第1の接続部材と第2の接続部材を有し、前記第1及び第2の接続部材の間にガスケットを設け、該ガスケットを第1及び第2の支持部材により挟圧することにより、それら第1及び第2の接続部材の接続部をシールする真空シール構造において、前記第1及び第2の接続部材の端部に、当該管の軸心方向に直角な方向に伸延した形で鍔部を環状に形成し、該鍔部の接続面側に、該鍔部の外周部の肉厚が外側にゆくほど小さくなる形でガスケット当接面をそれぞれ形成し、前記第1及び第2の接続部材のガスケット当接面間に前記ガスケットを配置すると共に、前記第1の支持部材と第2の支持部材間に前記第1及び第2の接続部材の鍔部を前記ガスケットと共に配置し、前記第1及び第2の支持部材を締め付け部材にて締め付けることにより、前記第1及び第2の接続部材のガスケット当接面間に前記ガスケットを挟圧保持してなる真空シール構造。
FI (2件):
F16J 15/06 P ,  F16J 15/06 L
Fターム (10件):
3J040AA01 ,  3J040AA12 ,  3J040AA17 ,  3J040BA01 ,  3J040EA18 ,  3J040EA21 ,  3J040FA01 ,  3J040HA02 ,  3J040HA03 ,  3J040HA15
引用特許:
審査官引用 (1件)

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