特許
J-GLOBAL ID：200903043175435715
クリーンボックス及びその使用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-087964
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283092
出願日： 1994年04月01日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウエハあるいはガラス基板等の高度の清浄度の要求される被処理物を、粒子汚染及び分子汚染を受けることなく保管又は運搬が可能なクリーンボックス及びその使用方法を提供する。【構成】 容器1内に、粒子を除去するHEPAフィルタ又はULPAフィルタ11と、不純物ガスを除去するケミカルフィルタ10とを備え、両フィルタにより濾過された気体中に被処理物4が収納され、保管又は運搬される。
請求項（抜粋）：
容器内に、粒子を除去するHEPAフィルタ又はULPAフィルタと、不純物ガスを除去するケミカルフィルタとを備え、両フィルタにより濾過された気体中に被処理物が収納され、保管又は運搬されることを特徴とするクリーンボックス。
IPC (2件)：
引用特許：
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