特許

J-GLOBAL ID：200903043210643253

単結晶の窓および整合アノードを備える電子ビーム装置

発明者： ワカロプロス,ジョージ
出願人/特許権者： アメリカン・インターナショナル・テクノロジィズ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-521265
公開番号（公開出願番号）：特表平10-512092
出願日： 1996年01月03日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】真空管電子ビーム装置(15)は、電子透過のための、薄く単結晶で電子を透過させ気体を透過させない膜(20)を含む。単結晶の膜は、高い強度のために小さな厚みを有してもよく、その小さな厚みのために非常に透過性が高く電子を解放することができる。このような膜の規則的な結晶構造により、電子ビームに対する妨害は最小になるが、気体および流体分子に対しては非常に透過性は低くなる。ドーピングされたシリコンアノード(19)は、整合する熱膨張特性を伴い膜に対する支持を与えることができ、結晶性のアノードは膜と一体化させることができる。二重の膜の実施例は冷却液を閉じ込めて液が双方の膜近くを通過するようにする。

請求項（抜粋）：

電子ビーム装置であって、 概ね真空の室を定める気体を透過させる本体を含み、前記本体は、薄い、電子を透過させ、気体を透過させない単結晶の膜を含み、前記膜は第1および第2の主表面を有し、前記第1の主表面は前記室に近接し、さらに、 前記膜より離れて前記室内に電子を発生させるための手段と、 前記膜から離して配置され前記膜近くよりもより負の電位で保たれるカソードを備える、前記電子を前記膜に向けて加速させるための手段とを含む、電子ビーム装置。

IPC (2件)：

H01J 33/04 ,  G21K 5/04

FI (2件)：

H01J 33/04 ,  G21K 5/04 E

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 照射窓
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-051301   出願人：日新ハイボルテージ株式会社